全媒体记者 陈雨桐
在日照高新区智慧微电产业园内,阿米精控实验室的电子显微镜下,一片指甲盖大小的电容传感器正以原子直径的精度监测着运动轨迹———这相当于人类头发丝直径的十万分之一。
作为市科技局派驻到企业的科技专员,刘鹏博博士同时也兼任公司总工程师,他欣慰地告诉记者:“我们自主研发的纳米运动系统,终于能在半导体装备的核心部位替代欧美尖端产品了。”
从公司创立之初,科技专员刘鹏博的名字,便始终与“纳米级运动控制”“国产替代突破”等关键词紧密相连。如今,这位“90后”科技专员正带领团队向着亚纳米级运动控制的“无人区”进发———在他们手中,那些曾被国外垄断的精密运动部件,正逐渐拼凑出中国智造的纳米版图。
从2021年公司创立之初,刘鹏博便带着团队将实验室积累的精密柔性机构优化设计、智能纳米伺服控制算法等核心技术进行产业化转化。面对集成电路光刻与检测等产业领域对核心光机模组提出的高真空、大负载、高动态和单纳米级运动精度等一系列极限性能要求,他带领团队连续4个月进行几十次结构与参数优化,最终研发出国内首款压电直驱重载大口径纳米级光机运动台,并成功交付给我国多家半导体设备的领军企业,打破国外对高端集成电路运动调台的技术封锁。
作为同时活跃在高校与企业间的“两栖科学家”,刘鹏博深谙创新生态建设之道。他主导搭建的“高校基础研究—企业技术开发—产业应用验证”三级创新体系,正在释放强大动能。
无论是在公司会议室,还是在学校实验室,刘鹏博与团队成员保留着每周至少一次的学术研讨。这里诞生的纳米伺服理论,经过企业工程团队的转化,已开发出高动态纳米扫描台、跨尺度粘滑运动台等10余款产品,在精密科学仪器、集成电路装备等领域实现国产化替代。而来自国家大科学装置等科技前沿用户反馈的数据,又为团队优化产品结构和控制算法提供了宝贵的建议。
“纳米定位系统宛若在针尖起舞的机械芭蕾,原子尺度的震颤足以引发定位世界的雪崩效应。”刘鹏博至今记得,为了攻克高带宽纳米位移反馈难题,团队连续三个月在实验室进行校准和测试。正是这种近乎偏执的坚持,让他们成功研发出极弱电场调制解调技术,将传感器分辨率提升至皮米级,这项突破性成果最终转化为阿米精控的核心专利之一。
在刘鹏博的主导下,阿米精控构建起独特的“需求牵引式”研发体系。公司经过与半导体与精密光学领域的多个头部企业深度合作,将微纳制造、精密主动光学等产业的痛点问题转化为一项项技术攻关清单。如今,阿米精控已形成“定制开发—共性提炼—标准迭代”的技术进化路径,产品成功应用于国家大科学装置、集成电路装备等战略领域。公司先后获得国家高新技术企业、日照市科创先锋企业等称号。
作为产学研融合的践行者,阿米精控组建了30余人的博士硕士研发团队,累计培养10余名企业技术骨干,推动20余项重大成果转化。由刘鹏博主导的“超精密光机伺服系统”项目,成功解决主动跟瞄对准、精密抗扰稳像、多自由度运动协同等5项行业共性技术难题,相关产品年产值突破千万元。
“纳米尺度的每一次突破,都是中国精密制造向产业链顶端攀升的刻度。”一项项公司荣誉获得的背后,是30余项发明专利、数千万的产业化成果,更是中国科技工作者在高端装备领域挺起的脊梁。
从学术论文的公式推导到产线设备的参数校准,刘鹏博用三年时间完成了科研报国的范式转换。当纳米精度的中国自主尖端产品逐渐成为国际赛场的规则制定者,刘鹏博和阿米精控正在这条产学研融合的赛道上一路向前,奔向更为壮阔的星辰大海。